【解决方案】决胜先进制程！国仪量子12英寸晶圆检测方案实现全覆盖、无损、高分辨分析

更新时间：2025-09-25 点击次数：115

在半导体制造迈向更精细工艺节点的今天，晶圆缺陷检测已成为决定良率与性能的关键。国仪量子推出新一代12寸晶圆扫描电镜解决方案，以突破性技术实现晶圆全域、无需转动与倾斜、无损、高分辨率检测，为先进制程提供坚实支撑。

该方案配备超大行程样品台（X/Y≥300mm），可全面覆盖12寸晶圆，无需切割或转移样品，真正实现“原尺寸、原位置"观测。系统搭载肖特基场发射电子枪，在15kV下分辨率达1.0 nm，即便在1kV低电压下仍保持1.5 nm超高分辨率，极大降低电子束损伤，尤其适用于敏感结构与材料。

【解决方案】决胜先进制程！国仪量子12英寸晶圆检测方案实现全覆盖、无损、高分辨分析

超大行程两轴位移台(行程>300mm)，可实现12寸晶圆的全范围观测

国仪量子12英寸晶圆检测方案集成自动进样与光学导航系统，支持晶圆快速更换与精准定位，大幅提升检测效率与一致性。结合智能软件系统，可实现自动对焦、像散校正与多格式图像输出，助力用户高效完成从缺陷定位到工艺优化的全流程任务。

国仪量子12寸晶圆电镜，不仅是一台观测设备，更是推动半导体制造迈向更高良率与更小节点的关键工具。

9月26-30日武汉

2025年全国电子显微学学术年会

国仪量子八大电镜解决方案

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