【解决方案】全尺寸观测，精准切割，全面覆盖！国仪量子8英寸晶圆双束全尺寸加工解决方案来了

该方案搭载150mm大行程高精度样品台，可支持8英寸晶圆全域无损观测与加工，配合外置光学导航系统与智能防碰撞算法，实现晶圆的快速、精准定位与安全操作。系统配备肖特基场发射电子枪，分辨率达0.9 nm @15kV，离子束分辨率达3 nm@30kV，可在纳米尺度下完成缺陷检测、截面剖切、微结构加工等复杂任务。