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200kV场发射透射电镜

简要描述:国仪量子200kV场发射透射电镜TEM-F200,专为材料科学和半导体用户打造,具备出色的高分辨成像与高灵敏度元素分析能力,灵活的配置方案使其可以胜任复杂的科研和工业应用场景。

  • 产品型号:TEM-F200
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-10-28
  • 访  问  量:4

详细介绍




标配光纤耦合CMOS相机

1:1光纤耦合的1600万像素CMOS相机,电影级成像体验




多通道STEM

采用全固态探测器,支持HAADF/ADF/ABF多通道成像,可拓展DPC成像

Super-EDS超大面积能谱

双100mm2超大面积无窗能谱,可快速实现元素分析

高亮度场发射电子枪

采用高亮度场发射电子源,具备优异的探针亮度与出色的能量分辨率,可实现高灵敏度分析测试与先进谱学表征

一体化集成软件

集成TEM成像和STEM成像的AotomView软件,支持用户在同一操作界面下无缝整合各类分析工作流程



国仪量子200kV场发射透射电镜TEM-F200


应用案例

半导体芯片FinFET器件

FinFET器件的高分辨透射电子显微镜(HRTEM)图像,可用于观察器件局部纳米结构及晶格条纹细节。

半导体存储芯片

半导体存储芯片截面的明场透射电子显微镜图像。图中可见多层薄膜与介质层构成的器件结构。

航空航天7075铝合金

航空航天用7075铝合金TEM(左)和HAADF(右)图像。可见晶内析出相及不连续的晶界析出相。

FeNi纳米颗粒

FeNi纳米颗粒的高分辨晶格像。颗粒整体呈近圆形,图中可见清晰的晶格条纹;对颗粒局部区域进行快速傅里叶变换(FFT)后,呈现规则排列的单晶衍射点,表明该区域具有良好的结晶性。

产品参数

加速电压:20~200kV
信息分辨率:0.10nm
点分辨率:0.25nm
STEM分辨率:0.16nm
STEM成像模式:HAADF, ADF, ABF
放大倍数:20x~1,200kx
Super-EDS (可选):双100mm2 无窗SDD,对称布置,能量分辨率≤127eV
可选配置:EELS, 4D-STEM, 3D-ED, 原位样品杆
200kV场发射透射电镜


国仪量子200kV场发射透射电镜TEM-F200

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