材料微观行为研究正迎来多场景耦合、原位动态表征的新时代。国仪量子推出创新性原位力学解决方案，凭借卓越的开放兼容性，实现全系列电镜产品与市面上主流原位测试设备的无缝对接，为材料科学研究提供灵活、高效的多场景耦合分析平台。该解决方案突破传统封闭系统的局限，集合各种原位电镜适配关键要素与一身，具备以下特点：大束流：优于100nA，有利于快速分析EDS，EBSD等相关信息大空间：360MM×310MM×288MM（长宽高）大承重：5Kg（定制夹具最多支持10Kg）多视角：多位CCD保...

在材料高温性能研究、相变机理分析等领域，传统外部加热手段往往无法实现微区精准控温与实时观测的结合。国仪量子联合中国科学技术大学微纳中心，自主研制原位加热芯片解决方案，通过MEMS加热芯片与双束电镜的深度融合，实现样品在室温至1100℃范围内的精准控温与微观动态分析，为高温环境下材料行为研究提供全新工具。该方案采用国仪自研双束电镜与专用MEMS加热芯片，控温精度优于0.1℃，测温分辨率优于0.1℃，同时具备温度均匀性好、红外辐射少等优势，有效保障高温下的分析稳定性。系统支持在加...

在材料分析与表征领域，单一技术往往难以同时获取纳米尺度的形貌与分子级别的化学信息。国仪量子创新推出电镜-拉曼联用解决方案，实现扫描电镜高分辨率成像与拉曼光谱化学分析的真正原位融合，为多维度材料研究提供强大工具。国仪量子电镜-拉曼联用解决方案通过光路优化与系统集成两种方式，在同一平台完成微区定位、形貌观测与拉曼检测，彻底解决传统跨设备分析中的定位误差问题。用户可在SEM图像中精准锁定目标区域（如缺陷、界面、纳米颗粒），直接激发拉曼激光，同步获取成分、物相、应力分布等化学结构信息...

在半导体制造迈向更精细工艺的时代，晶圆级缺陷分析、失效定位与微纳加工已成为提升良率的关键环节。国仪量子推出8英寸晶圆双束全尺寸加工解决方案，集高分辨率成像与精准离子束加工于一体，实现对晶圆的“观测-分析-切割”全流程覆盖，为半导体先进制程提供强大技术支撑。该方案搭载150mm大行程高精度样品台，可支持8英寸晶圆全域无损观测与加工，配合外置光学导航系统与智能防碰撞算法，实现晶圆的快速、精准定位与安全操作。系统配备肖特基场发射电子枪，分辨率达0.9nm@15kV，离子束分辨率达3...

在半导体制造迈向更精细工艺节点的今天，晶圆缺陷检测已成为决定良率与性能的关键。国仪量子推出新一代12寸晶圆扫描电镜解决方案，以突破性技术实现晶圆全域、无需转动与倾斜、无损、高分辨率检测，为先进制程提供坚实支撑。该方案配备超大行程样品台（X/Y≥300mm），可全面覆盖12寸晶圆，无需切割或转移样品，真正实现“原尺寸、原位置”观测。系统搭载肖特基场发射电子枪，在15kV下分辨率达1.0nm，即便在1kV低电压下仍保持1.5nm超高分辨率，极大降低电子束损伤，尤其适用于敏感结构与...