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超高分辨场发射扫描电子显微镜

简要描述:国仪量子超高分辨率场发射扫描电子显微镜SEM5000X,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。

  • 产品型号:SEM5000X
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-04
  • 访  问  量:1472

详细介绍

超高分辨场发射扫描电子显微镜

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。

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产品优势:

•超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景

•高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响

•最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求



应用案例


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