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国仪量子高速扫描电子显微镜

简要描述:国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了高速图像采集和成像,同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

  • 产品型号:HEM6000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-26
  • 访  问  量:1233

详细介绍

高速扫描电子显微镜 HEM6000


HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了高速图像采集和成像,同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

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核心技术

产品优势

高速自动化

全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

低压高分辨

样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率

大场低畸变  

跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变

应用领域



应用案例

大规模成像

产品参数
关键参数分辨率1.3nm @ 3 kV,SE;1.9nm @ 3 kV,BSE;
2.2 nm @ 1 kV,SE;3.3 nm @ 1 kV,BSE;
加速电压100 V~6 kV(减速模式)
6 kV~30 kV(非减速模式)
放大倍率66~1,000,000x
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型浸没式电磁复合物镜
样品装载系统真空系统全自动控制,无油真空系统
样品监控样品仓监控水平摄像头 ; 换样仓监控垂直摄像头
样品最大尺寸直径4英寸
样品台类型电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台)
行程

X、Y轴:110mm;

Z轴:28mm;

重复定位精度

X轴:±0.6μm;

Y轴:±0.3μm;

换样方式全自动控制
换样时间<15 min
换样仓清洗全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理驻点时间10 ns/pixel
图像采集速度2*100 M pixel/s
图像大小8K*8K
探测器和扩展标配镜筒内混合电子探测器
选配低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪;大图拼接;三维重构
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散



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