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国仪量子场发射扫描电子显微镜

简要描述:国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。

  • 产品型号:SEM5000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-22
  • 访  问  量:657

详细介绍

国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000

产品介绍

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SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。


电子枪类型           高亮度肖特基场发射电子枪

加速电压             0.1 kV ~ 30 kV

分辨率              1 nm @ 15 kV  2.5 nm @ 1 kV

样品台              五轴全自动样品台

放大倍率             1 ~ 1,000,000 x


产品特点


分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像

高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换


应用领域

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规格参数


电子光学系统

分辨率             1.0nm @ 15 kV

2.5 nm @ 1 kV

放大倍率            1 x ~ 1,000,000 x

加速电压            0.1 kV ~ 30 kV

电子枪类型          高亮度肖特基场发射电子枪

磁场屏蔽           被动式磁屏蔽

主动式磁屏蔽(选配)

成像系统

探测器             镜筒内高角度电子探测器(Inlens-SE Detector)

侧向二次电子探测器(ET Detector)

扩展               背散射电子探测器(BSE Detector)

能谱仪(EDS)

背散射衍射(EBSD)

电子束感生电流(EBIC)

阴极荧光(CL)

图像保存格式         TIFF、JPG、BMP、PNG


样品室

真空控制方式         全自动控制,无油真空系统

摄像头             双摄像头

( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置           五轴全自动样品台

行程

X: 130 mm

Y: 105 mm

Z: 40 mm(大行程可选配)

R: 360°

T: -10°~ +90°

减震

主副减震支架

双气室隔膜式减震器

主动式减震器(选配)

软件

语言               中文

操作系统            Windows

导航               光学导航、手势快捷导航

自动功能            自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


国仪量子(合肥)技术有限公司为您提供国仪量子场发射扫描电镜SEM5000的参数、价格、型号、原理等信息,国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000产地为安徽、品牌为国仪量子,型号为SEM5000,更多相关信息可进一步咨询。



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