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钨灯丝扫描电子显微镜

钨灯丝扫描电子显微镜

产品型号: SEM3100

所属分类:扫描电镜SEM

产品时间:2021-10-15

简要描述:国仪量子钨灯丝扫描电子显微镜是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达300000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率可达3 nm,在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。

详细说明:


SEM3100

钨灯丝扫描电子显微镜

SEM3100


SEM3100具有出色的成像质量和丰富的扩展性,将钨灯丝扫描电子显微镜的可用性、易用性发挥到极大。分辨率可达3 nm,超大样品仓,可容纳最大直径为370mm的样品,以及诸多细节功能设计和特色功能,助您在显微成像的世界中尽情探索。


高性能高指标

SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜,拥有超高的分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调,在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深,成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式,极大地扩展了SEM3100的应用范围。


丰富的扩展性

扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察,还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓,接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,诸如电子背散射衍射(EBSD)、波谱仪(WDS)、阴极荧光(CL)等探测器都可以在SEM3100上进行集成。


背散射探测器

二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下,样品的荷电效应明显减弱,并且具有很好的成分衬度,适合进行成分观察。


能谱分析

水泥建筑材料SE和EDS分析结果,加速电压15 kV
*微量Au元素为喷金后的镀层


特色功能,更高的效率和更好的性能

光学导航

SEM3100标配的仓内摄像头可拍摄高清样品台照片,助您快速定位样品。


光学导航


旋钮控制板和鼠标手势

可通过旋钮控制板或鼠标滚轮/手势快速调节聚焦和像散等参数,极大地提高成像效率。


旋钮控制板和鼠标手势

动态像散

直观反映像散程度,通过鼠标点击即可快速调节像散至最佳。

动态图


动态像散


结果图


动态像散


快速调节图像旋转

拖动一条线,图像立刻“摆正角度"。


动态图


电平移


结果图


电平移-结果图


电子光学系统

分辨率                      3 nm @ 30 kV
放大倍率                  1 x~300,000 x
加速电压                  1 kV~30 kV
电子枪类型               预对中型发叉式钨灯丝电子枪
成像系统
探测器(标配)        二次电子探测器 (ETD)
探测器(选配)        背散射电子探测器、能谱仪EDS等
图像尺寸                  ≤ 6144 x 4096 像素
图像保存格式           TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
控制方式                  全自动阀
涡轮分子泵              240 L/S
机械泵                     12 m³/h(50 Hz)
摄像头                     光学导航   样品仓内监控
样品室真空度           高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置             三轴自动(标配)   五轴自动(选配)









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