聚焦电子科大国家集成电路产教融合创新平台：国产电镜深耕“芯”高地

近日，在电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台上，负责多台国产与进口电镜设备运营管理的涂小明博士，对国仪量子的SEM5000X场发射扫描电镜和DB550双束电镜给出了高度好评。

作为全国首批获批建设的八所集成电路产教融合创新平台之一，电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台是国家发改委和教育部于2021年联合批准建设的国家级平台。平台总投资超2.5亿元，下设IC设计、前道工艺、封装测试三大子平台，建成了一条完整的6到8英寸兼容的集成电路工艺线，具备0.18微米及以上晶圆级加工与测试能力。目前，平台拥有各类微纳制造、芯片封装与量测设备150多台套，从规模、功能和产业链完整度来看，堪称西南地区高校中最大、最全、最专业的集成电路公共平台。

作为面向全社会开放共享的国家级平台，稳定高效的芯片微观表征与分析工具至关重要。而国仪量子的两台国产电镜——SEM5000X和DB550，正承担着其中不可或缺的关键角色。

“作为西南地区功能最全的集成电路专业化平台，对微观形貌的表征和量测需求非常大。"涂小明博士介绍道，这两台设备主要工作在芯片微纳加工过程中的形貌观察、尺寸测量，以及截面分析等关键环节。

SEM5000X是国仪量子自主研制的超高分辨场发射扫描电子显微镜，在高强度使用下，SEM5000X展现出了极高的稳定性，能够高效完成复杂的形貌观察与纳米级尺寸测量任务。而DB550双束电镜则聚焦于精密截面分析，其自主可控的场发射电子镜筒和“承影"离子镜筒，保证了高质量的纳米加工能力和分析效率，对平台的高效运行起到了至关重要的作用。

涂小明对此深有感触：“在高频使用下，SEM5000X在尺寸测量和微观形貌观察上表现出极高的稳定性；DB550双束电镜在处理精密截面分析时的效率，对于平台的高效运转至关重要。"

半导体集成电路领域，优秀人才是发展的核心驱动力。平台肩负着为国家培养大批紧缺人才的核心使命。

然而，不管是扫描电镜还是FIB，都属于极为精密且昂贵的仪器。此前操作进口设备时，复杂的操作逻辑和全英文的界面，往往给刚开始接触的学生带来较大的心理负担和“不敢上手"的畏难情绪。

但这样的情况在引入国仪量子SEM5000X和DB550后，得到了根本性改善。国产电镜“去繁就简"，简洁直观的全中文界面以及完全符合中国科研人员使用习惯的操作逻辑，大大降低了学生的学习门槛。

“国仪量子电镜‘去繁就简’，简洁的全中文界面和符合中国科研人员的交互逻辑，大大降低了学生的学习门槛，有效地避免了误操作。学生敢上手了，学得快了，设备安全也更有保障了，这对于高校开展教学和科研工作来说，帮助很大。学生不再畏惧操作这些昂贵的‘重器’，敢于去探索。"涂小明博士兴奋地总结道。

毕竟，敢于上手，才是高质量实验教学和科研创新的第一步。从“能用"到“好用、会用、善用"，国产电镜正在改变高校的人才培养方式。

对于承担着高强度实验任务的大型尖端公共实验平台来说，卓越的售后服务和技术支持，是保障平台平稳高效运行的关键所在。

国仪量子的售后服务团队，在这一点上给涂小明博士留下了远超预期的深刻印象。

“管理设备中，遇到突发技术问题是很正常的情况。有几次在操作中遇到了一点小状况，我立刻联系了国仪量子售后工程师曹工。好几次刚把问题发出去，曹工立刻就进行了回复，直接给出了解决的办法，确实做到了全天候在线服务！"涂小明老师称赞道。

他也指出，这种随时随地有强大技术后盾支撑的安心感，是很多进口高端仪器厂商很难企及的。“售后服务好、响应极其及时，保障了我们平台科研进度的顺利推进，让仪器使用者非常安心。"

国仪量子秉持“镜心镜意，成就客户"的服务理念，致力于把优质服务送至科研一线。在许多高校案例中均可见其服务团队深入实验室，开展从设备交付到深度培训、从日常运维到技术支持的保障工作，赢得了用户的广泛认同。

“愿国产电镜成为科研人员探索微观世界的锐利之眼，助力自主创新，推动中国科研前行。"采访的最后，涂小明博士动情地送上了对国产电镜的祝福。

电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台以卓越的研发积淀、一流的实验环境和对国产高端科学仪器的积极扶持，生动诠释了服务国家芯片战略与集成电路产业深度融合的使命担当。

而在这一进程中，国仪量子SEM5000X与DB550双束电镜的出色表现，不仅证明了国产量子精密测量与高端科学仪器的硬核实力，更通过以服务育人为本的卓越体验，为推动高校集成电路的可持续创新，打造了校企合作、产教融合的生动范本。

未来，国仪量子将继续深耕用户需求，以更专业的技术、更贴心的服务，陪伴每一位科研工作者探索微观、突破边界，为中国的芯片科研和人才培养注入来自国产自主创新的澎湃动能。

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