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新品上市!国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000

更新时间:2023-08-09      点击次数:4265

 在大规模成像场景中,常规扫描电镜成像速度和自动化程度都无法满足应用需求。例如,在芯片结构成像应用中,需要在几周内完成数百平方毫米区域的连续拍摄;在人类脑图谱研究中,需要对百亿级神经元进行高分辨成像。对于此类场景,常规扫描电镜效率严重不足,为解决客户痛点,国仪量子于近日推出一款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000


 

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高速扫描电子显微镜HEM6000

 

高速自动化
HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了高速图像采集和成像,同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。可广泛应用于半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学等领域。

 

图像采集速度:10 ns/pixel,2*100 M pixel/s

加速电压:100 V~6 kV(减速模式);6 kV~30 kV(非减速模式)

分辨率:1.3 nm@3 kV,SE;2.2 nm@1 kV,SE

视场大小:最大视场1*1 mm2,高分辨微畸变视场32*32 um2

样品台精度:重复定位精度:X ±0.6 um;Y ±0.3 um

产品优势
HEM6000

高速自动化

全自动上下样流程和采图作业,

综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍


大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变


低压高分辨

样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率

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应用案例
HEM6000

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