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国仪量子应用中心仪器上新——场发射扫描电镜SEM5000

发布时间:2022-06-23      点击次数:5536

近日,国仪量子应用中心迎来重磅新品——场发射扫描电镜SEM5000。

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜,有着先进的镜筒设计,镜筒内减速、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时可适用于磁性样品。SEM5000具有光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程。

无论操作者是否具有丰富经验,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。


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电子枪类型:高亮度肖特基场发射电子枪

分辨率:1 nm @ 15 kV 

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率:1 ~ 1000000 x

加速电压:20 V ~ 30 kV

样品台:五轴全自动样品台

产品特点


01

分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像


02

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品


03

镜筒内减速,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证


04

电子光路无交叉,有效降低系统像差,提升分辨能力


05

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性


06

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换


应用领域

场发射扫描电镜SEM5000可广泛应用于锂电、芯片半导体、陶瓷、建筑材料、电子元器件、化学化工、生物医疗、环保、金属材料等领域。


场发射扫描电镜SEM5000拍摄案例


樱花花粉

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经伪彩处理

NVP

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TIO2

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钛酸锂

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正极极片

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负极极片

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极片表面的导电添加剂

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隔膜

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