国仪量子应用中心仪器上新——场发射扫描电镜SEM5000

更新时间：2022-06-23 点击次数：6606

近日，国仪量子应用中心迎来重磅新品——场发射扫描电镜SEM5000。

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜，有着先进的镜筒设计，镜筒内减速、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时可适用于磁性样品。SEM5000具有光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程。

无论操作者是否具有丰富经验，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

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电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪

分辨率：1 nm @ 15 kV

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率：1 ~ 1000000 x

加速电压：20 V ~ 30 kV

样品台：五轴全自动样品台

产品特点

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

镜筒内减速，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效降低系统像差，提升分辨能力

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

场发射扫描电镜SEM5000可广泛应用于锂电、芯片半导体、陶瓷、建筑材料、电子元器件、化学化工、生物医疗、环保、金属材料等领域。

场发射扫描电镜SEM5000拍摄案例

樱花花粉

经伪彩处理

NVP

TIO₂

钛酸锂

正极极片

负极极片

极片表面的导电添加剂

隔膜