聚焦电子科大国家集成电路产教融合创新平台：国产电镜深耕“芯”高地

国仪量子电镜采用简化设计，配备直观的中文操作界面和适合国内科研人员的操作习惯，有效降低了学生学习难度，减少了操作错误。学生们更愿意尝试，学习效率显著提升。

——电子科技大学集成电路产教融合创新平台的涂小明博士

近期，在电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台，涂小明博士负责管理多台国产和进口电镜设备，他对国仪量子的SEM5000X场发射扫描电镜及DB550双束电镜表示了极大的认可。

作为全国获得批准建设的集成电路产教融合创新平台之一，电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台由国家发展和改革委员会及教育部于2021年共同批准成立，属于项目。该平台总投资额超过2.5亿元，包含集成电路设计、前端工艺和封装测试三个主要子平台，并构建了一条能够兼容6至8英寸的完整集成电路生产线，拥有0.18微米及以上的晶圆级加工和测试技术。目前，平台配备了超过150套微纳制造、芯片封装和测量设备，无论是在规模、功能还是产业链的完整性方面，都被认为是西南地区高校中规模、功能全面、产业链的集成电路公共平台。

作为对公众开放的平台，维持高效稳定的芯片微观特征描述和分析工具是极为关键的。国仪量子公司提供的两款国产电子显微镜——SEM5000X和DB550，发挥着它们在该领域中不可替代的作用。

精确稳定：芯片精细制造的“明察秋毫

在西南地区，集成电路领域的专业化平台中，对微观形态特征的描述和测量有着极大的需求。"涂小明博士指出，这两台仪器在芯片的微纳制造过程中扮演着核心角色，它们主要负责观察芯片的形态、测量尺寸，以及进行截面分析等重要任务。

SEM5000X由国仪量子自主研发，是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜。在频繁使用中，SEM5000X显示出的稳定性，能够迅速完成复杂的形貌观察和纳米级尺寸测量工作。DB550双束电镜专注于精密截面分析，其自主研发的场发射电子镜筒和“承影"离子镜筒，确保了的纳米加工和分析效率，对平台的高效运作发挥了关键作用。

涂小明表示：“在频繁使用中，SEM5000X在精确测量尺寸和观察微观结构方面显示出了的稳定性；DB550双束电镜在精密截面分析方面的高效性能，对于平台的顺畅运作极为关键。

中文界面：简化操作流程，鼓励学生主动实践

集成电路产业中，杰出人才是推动进步的关键因素。该平台承担着培养大量急需人才的重要任务。

尽管扫描电镜和FIB都是精密且价值不菲的科研工具，但过去在使用这些国外设备时，其操作流程的复杂性和英文界面常常使得初学者感到心理压力，产生了害怕尝试的心态。

随着国仪量子SEM5000X和DB550的引入，原先的复杂状况得到了显著的改观。这些国产电镜通过简化操作流程，提供了直观且易于理解的中文界面，以及与中国科研人员的操作习惯高度契合的逻辑，极大地降低了学生掌握这些设备所需的难度。

国仪量子的电镜产品通过简化操作流程，配备直观的中文界面和适应国内科研人员的操作习惯，显著降低了学生使用的技术障碍，减少了操作失误的可能性。学生们因此更愿意亲自操作，学习进度加快，同时设备的安全性也得到了提升。这对于大学在教学和科研方面的工作提供了极大的助力。学生们克服了对这些高价值设备的恐惧，开始勇于进行探索。涂小明博士对此表示了极大的兴奋，并进行了总结。

勇于实践，是提升实验教学质量和推动科研创新的关键起点。国产电镜的发展，正逐步引导高校在培养学生方面实现从“基本操作"到“熟练运用、有效应用"的转变。

服务承诺：24小时在线响应，“随时待命，确保支持

对于肩负重任的大型公共实验平台而言，优质的售后服务与技术支撑是确保平台顺畅运作的核心要素。

国仪量子的售后支持团队，给涂小明博士留下了超出预期的深刻印象。

在设备管理过程中，遇到技术难题是常有的事。涂小明老师回忆说：“在操作过程中，我遇到了几次小问题，便马上联系了国仪量子的售后服务人员曹工。每次我提出问题后，曹工都能迅速回应，并提供有效的解决方案，确保了服务的连续性和及时性。"他对这种高效的响应表示了高度的赞赏。

他提到，能够随时获得技术支持所带来的信心，是许多外国设备制造商难以匹敌的。“优质的售后服务和迅速的响应速度，确保了我们科研工作的连续性，为仪器操作者提供了极大的心理安慰。

国仪量子坚守“全心全意，为客户创造价值"的服务宗旨，努力将的服务送达科研。众多高校的实际应用案例中，都能看到国仪量子的服务团队亲临实验室现场，从设备的安装调试到全面的技术培训，再到日常的维护和专业的技术援助，他们提供的服务获得了科研工作者的普遍认可。

希望国产电子显微镜能成为科研工作者深入观察微观世界的利器，促进原创性研究，助力中国科学研究的进步。"在访谈接近尾声时，涂小明博士满怀深情地表达了对国产电子显微镜的美好愿景。

电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台凭借深厚的研发基础、先进的实验设施以及对国产科学仪器的大力支持，充分展现了其在服务国家芯片战略和集成电路产业深度融合中的重要角色。

在集成电路创新的征途上，国仪量子的SEM5000X和DB550双束电镜展现了国产精密测量设备与科研仪器的强劲竞争力。它们不仅以的性能赢得了认可，还通过提供优质的用户体验，促进了高等教育机构在集成电路领域的创新能力，树立了校企合作和产教结合的成功案例。

展望未来，国仪量子将不断深化对用户需求的理解，凭借先进的技术和周到的服务，助力科研人员深入微观世界、拓展知识边界，为国内芯片研究和教育事业注入国产创新的动力。

半导体集成电路领域，优秀人才是发展的核心驱动力。平台肩负着为国家培养大批紧缺人才的核心使命。

然而，不管是扫描电镜还是FIB，都属于极为精密且昂贵的仪器。此前操作进口设备时，复杂的操作逻辑和全英文的界面，往往给刚开始接触的学生带来较大的心理负担和“不敢上手"的畏难情绪。

但这样的情况在引入国仪量子SEM5000X和DB550后，得到了根本性改善。国产电镜“去繁就简"，简洁直观的全中文界面以及符合中国科研人员使用习惯的操作逻辑，大大降低了学生的学习门槛。

“国仪量子电镜‘去繁就简’，简洁的全中文界面和符合中国科研人员的交互逻辑，大大降低了学生的学习门槛，有效地避免了误操作。学生敢上手了，学得快了，设备安全也更有保障了，这对于高校开展教学和科研工作来说，帮助很大。学生不再畏惧操作这些昂贵的‘重器’，敢于去探索。"涂小明博士兴奋地总结道。

毕竟，敢于上手，才是高质量实验教学和科研创新的较早步。从“能用"到“好用、会用、善用"，国产电镜正在改变高校的人才培养方式。

服务保障：全天候在线，“随时随地有人支持"

对于承担着高强度实验任务的大型公共实验平台来说，的售后服务和技术支持，是保障平台平稳高效运行的关键所在。

国仪量子的售后服务团队，在这一点上给涂小明博士留下了远超预期的深刻印象。

“管理设备中，遇到突发技术问题是很正常的情况。有几次在操作中遇到了一点小状况，我立刻联系了国仪量子售后工程师曹工。好几次刚把问题发出去，曹工立刻就进行了回复，直接给出了解决的办法，确实做到了全天候在线服务！"涂小明老师称赞道。

他也指出，这种随时随地有技术后盾支撑的安心感，是很多进口仪器厂商很难企及的。“售后服务好、响应极其及时，保障了我们平台科研进度的顺利推进，让仪器使用者非常安心。"

国仪量子秉持“镜心镜意，成就客户"的服务理念，致力于把优质服务送至科研一线。在许多高校案例中均可见其服务团队深入实验室，开展从设备交付到深度培训、从日常运维到技术支持的保障工作，赢得了用户的广泛认同。

“愿国产电镜成为科研人员探索微观世界的锐利之眼，助力自主创新，推动中国科研前行。"采访的最后，涂小明博士动情地送上了对国产电镜的祝福。

电子科技大学国家集成电路产教融合创新平台以的研发积淀、的实验环境和对国产科学仪器的积极扶持，生动诠释了服务国家芯片战略与集成电路产业深度融合的使命担当。

而在这一进程中，国仪量子SEM5000X与DB550双束电镜的出色表现，不仅证明了国产量子精密测量与科学仪器的硬核实力，更通过以服务育人为本的体验，为推动高校集成电路的可持续创新，打造了校企合作、产教融合的生动范本。

未来，国仪量子将继续深耕用户需求，以更专业的技术、更贴心的服务，陪伴每一位科研工作者探索微观、突破边界，为中国的芯片科研和人才培养注入来自国产自主创新的澎湃动能。