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扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征的差异

发布时间:2021-12-17      点击次数:929
  扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品,通过光束合物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率能够达到1nm;放大倍数能够达到三十万倍或者以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。除此之外,扫描电子显微镜与其他分析仪器相结合,能够做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷以及纳米材料等的研究上有普遍的使用。所以扫描电子显微镜在科学研究领域具有大的作用。
  扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子,此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
  扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外,还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前,要对样品作相应的处理。
  扫描电子显微镜对样品的要求:
  首先第一点,不会被电子束分解;
  其次第二点,在电子束扫描下热稳定性要好;
  第三点,可以提供导电还有导热通道;
  第四点,大小和厚度要适合使用于样品台的安装;
  第五点,观察面应该清洁并且无污染物;
  第六点,进行微区成分分析的表面应该平整;
  最后第七点,磁性试样要预先去磁,是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。