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使用扫描电子显微镜应该了解的操作规则

点击次数:109 发布时间:2021-07-13

  扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面,参差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在真空环境下观察,因此对样品有一些特殊要求,笼统的讲:干燥,无油,导电.
  扫描电子显微镜的操作流程
  (1) 放样品:
  点击Vent放气后缓慢打开样品室,将样品用导电胶固定在载物台上,为了能在电镜下快速准确地找到样品的像,可提前对样品进行标记,样品放好后关紧样品室的门,否则可能会影响抽真空的效果;
  (2) 调整样品的位置:
  长按鼠标中键即显示指向箭头,向上拖动箭头升高样品台至10mm处, 点击屏幕右侧coordinates将Z轴锁死;(操作熟练者也可以直接输入样品坐标,新手不建议因为对位置判断不准确可能会撞坏镜头)
  (3) 抽真空:
  点击PUMP抽真空至<10-3Pa(真空度由仪器性能决定);
  (4) 发射电子束:
  待真空度满足要求后点击Beam on 加高压打电子束至样品表面;
  (5) 观察:
  v模式选择:SE(二次电子)和BSE(背散射电子)是扫描电镜成像的基础信号,扫描电镜提供二次电子(SE)和背散射电子(BSE)两种模式供使用者选择,二者区别是:二次电子能量低,主要反映试样表面厚度为50~100Å的形貌特征,背散射电子比二次电子能量高,分辨率差,背散射电子的信号强度随原子序数的增大而增强,背散射电子反映试样表面50-200nm深度的试样的成分分布形貌,使用者在选择时可以根据样品特征选择适合的拍照模式;
  调焦:使用鼠标右键在高倍下调焦,调焦过程中先大幅度调节确定调整方向,然后微调获得最清晰的像;
  改善图片质量:可以通过点击Stigmator进行色散校正,Beam shift进行光束漂移校正以及调对比度和亮度获得符合要求的照片;
  拍照:点击Image Acqusition进行拍照,低倍下看全貌,高倍下看细节,拍照时可以设置拍照时间,建议低倍下可以快速拍,高倍下拍照速度过快会影响图片质量,将照片命名好并保存在自己想要的位置;
  (6) 取样:
  点击Beam on 关闭电子束;
  解锁Z轴,将样品台调至原位,可点击Stage-home stage自动归位,也可手动拖动鼠标中键调节;
  点击Vent放气后取样,取样后点击PUMP抽真空至<10-3Pa保证样品室处于真空状态;

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