国产电镜可像数码相机一样操作简单,在轻松获得大倍数图像的同时,保持着高分辨率和大景深,具有扫描电子显微镜的强大电子光学性能,有助于加快在生命科学以及加工材料的缺陷分析方面的研究步伐。
该设备在自动对焦、自动衬比和自动亮度控制等基本方面,操作都很简单,无需进行涂层或干燥等特殊的样品处理准备,高真空和低真空两种操作模式以及三种加速电压设置,适用于多种应用领域,所有这些都可在预先设定的方案文件中进行编程,在轻松获得大倍数图像的同时,保持着高分辨率和大景深,具有扫描电子显微镜的强大电子光学性能。
扫描电镜由电子枪发射出电子束(直径约50um),在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,形成直径为5nm的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,电子和样品相互作用产生信号电子,这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再经过电信号放大器加以放大处理,成像在显示系统上。
国产电镜的结构包括电子光学系统、信号收集、图像显示和记录系统、真空系统,这部分主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室组成,电子枪提供一个稳定的电子源,形成电子束,一般使用钨丝阴极电子枪,用直径约为0.1 mm的钨丝,弯成发夹形,形成半径约为100um的V形尖端。当灯丝电流通过时,灯丝被加热,达到工作温度后便发射电子,在阴极和阳极间加有高压,这些电子则向阳极加速运动,形成电子束。电子束在高压电场作用下,被加速通过阳极轴心孔进入电磁。